片状氧化铝（平板状氧化铝）抛光粉
日期：2024-04-02 07:06:27 人气：点击：
片状氧化铝（平板状氧化铝）抛光粉
片状氧化铝又称平板状氧化铝抛光粉，它的用途是晶圆的抛光研磨表面处理。平板状氧化铝其实是一种通过特殊方法进行长晶的煅烧氧化铝。其煅烧温度问1200度，制成的氧化铝呈片状堆积形态。通过破碎和水洗工艺，将片状氧化铝粉进行分层，制成氧化铝纯度和清洁度更高，颗粒集中度窄、易分散的片状氧化铝微粉。不同的煅烧工艺对片状氧化铝的质量影响很大，质量好的平板状氧化铝晶体结构平整，磨削面无凹凸，颗粒致密度高，硬度高，易分散不会团聚，因此不会对硅片和晶圆造成损伤。片状氧化铝的晶体厚度为2-3um，颗粒直径3-50um。
Platelet calcined aluminum oxide powder, also known as tabulated alumina polishing powder, is used for polishing and grinding the surface treatment of wafers. Flat alumina is actually a type of calcined alumina with long crystals through special methods. Its calcination temperature is around 1200 degrees, and the resulting alumina is in a stacked form. Through crushing and washing processes, the flake alumina powder is layered to produce flake alumina micro powder with higher purity and cleanliness, narrow particle concentration, and easy dispersion of alumina. Different calcination processes have a great impact on the quality of flake alumina. High quality flat alumina oxide crystals have a flat structure, no unevenness on the grinding surface, high particle density, high hardness, and are easy to disperse and not agglomerate, so it will not affect the quality of silicon wafers. Damage caused by wafer. The crystal thickness of flake alumina is 2-3um, The particle diameter is 3-50um.
片状氧化铝/平板状氧化铝的特点：
- 海旭磨料生产的片状氧化铝对标进口产品，可以达到进口片状氧化铝粉的研磨效果。
- 晶型平整无棱角，研磨时磨粒于工件之间产生平面滑动效果，不易产生划痕。
- 硬度高，磨削力强。片状氧化铝具有类似于刚玉的α-Al2O3晶相，适用与大多数材料的研磨和抛光。
- 磁性物含量低，清洁度高，粒径一致性高。
- 熔点高，机械强度高，磨削效率高。
- 颗粒大小可控，3-50微米均可获得。
- 颗粒的平整性使片状氧化铝粉体易于分散，适合制成研磨剂或研磨液。
- 耐腐蚀、化学稳定性强、抗氧化性能优越，不会于研磨液中的液体介质发生反应。
- 比表面积大，表面活性和附着力由于电熔刚玉。
- 片状氧化铝易于分散，粉体不易团聚在晶圆表面造成堆积，影响抛光平整度。
化学成分：
| Al2O3 |
≥99.0% |
| SiO2 |
＜0.2 |
| Fe2O3 |
＜0.1 |
| Na2O |
＜1 |
物理性能：
| 化学成分 |
α-Al2O3 |
| 颜色 |
白色 |
| 比重 |
≥3.9g/cm3 |
| 莫氏硬度 |
9.0 |
生产规格：
| 型号 |
D3(um) |
D50（um） |
D94（um） |
| HXTA40 |
39-44.6 |
27.7-31.7 |
18-20 |
| HXTA35 |
35.4-39.8 |
23.8-27.2 |
15-17 |
| HXTA30 |
28.1-32.3 |
19.2-22.3 |
13.4-15.6 |
| HXTA25 |
24.4-28.2 |
16.1-18.7 |
9.6-11.2 |
| HXTA20 |
20.9-24.1 |
13.1-15.3 |
8.2-9.8 |
| HXTA15 |
14.8-17.2 |
9.4-11 |
5.8-6.8 |
| HXTA12 |
11.8-13.8 |
7.6-8.8 |
4.5-5.3 |
| HXTA09 |
8.9-10.5 |
5.9-6.9 |
3.3-3.9 |
| HXTA05 |
6.6-7.8 |
4.3-5.1 |
2.55-3.05 |
| HXTA03 |
4.8-5.6 |
2.8-3.4 |
1.5-2.1 |
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